概况:********项目内容:靶室及真空盒设计研发********.2采购清单及技术要求:设计开发靶室及真空盒2套,主要技术指标要求如下:★1.动态真空度小于********,静态真空小于30Pa(停泵后24h);★2.真空密封窗采用********钛窗,并在下方刻度位置;★3.提供真空度和温湿度监测设备(含相应的信号传输接口);★4.真空盒采用.
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