尺寸测量用扫描电子显微镜1台;ReviewSEM设备1台;包28吋金属刻蚀设备1台;包38吋钨化学机械研磨设备1台;包48吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备1台;8吋金属有机物化学气相沉积设备1台;包58吋钝化层二氧化硅沉积设备1台;8吋钝化层氮化硅沉积设备1台;8吋SACVD(USG&HARPUSG)膜沉积设备1台;8吋SACVDBPSG膜沉积设备1台。资金到..
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