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高级光学镀膜系统招标公告

日期:2025-02-22 收藏项目

于可见和红外波段微纳光子器件中关键一维光子结构的精确构筑，是支撑该课题组光谱芯片和多维探测方向发展的核心关键设备。该系统同时配备2把电子枪和1个阻蒸蒸发源，兼具对可见波段和膜料消耗大的红外波段高性能复杂光学薄膜的制备能力，可结合晶振膜厚控制技术和领先的光学膜厚监控技术，来实现复杂多层膜系结构中..

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