描电镜（FIB)采购项目预算金额：650.********万元(人民币)采购品目：采购需求概况：采购内容:电子光学及离子光学仪器采购数量:********套主要功能或目标:1.离子源：Ga离子源，寿命不低于1500h2.离子束分辨率：≤3nm@30kV（SEM和FIB交叉点位置，统计法测量）3.二次电子分辨率：≤********(15kV)；≤********(1kV)；背散射电子分辨率:≤********
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