求概况：扫描面积100μm×100μm；XY平面扫描精度********（开环控制），********（闭环控制）；AFM针尖共振频率上限500kHz；Z方向分辨率********；近场收集反射镜数值孔径********；预计采购时间：2025-04备注：/本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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