备采购需求概况：我校本次采购的等离子增强化学气相沉积设备主要用于硅基材料生长，并与现有刻蚀等设备联合使用构筑三维薄膜器件结构，提升传感单元、存储单元和逻辑单元等核心技术水平，助力国重实验室和双一流学科团队科研能力提升。设备通过通入多种反应气体或有机金属前驱体在加热衬底上生长薄膜材料，辅助金属.
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联系人：方婷
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