购品目：A********电子工业生产设备采购需求概况：设备名称：等离子体增强化学气相沉积设备。采购数量；1台。采购标的主要功能：用于生长氧化硅、氮化硅、TEOS氧化硅、a-C薄膜，镀膜均匀性≤±3%，质量、服务、安全、时限：提供8英寸晶圆生长腔体，具备3个腔体生长氧化硅、氮化硅、TEOS氧化硅、a-C薄膜，有8英寸传输平台与.
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联系人：方婷
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