一、项目名称： 贴息贷款第二批到货设备二次配建设 二、采购内容： 气柜辅助系统、对准光刻机、电镀设备 、尾气处理器、HDMS烘箱、划片机、p/N2 VMB辅助系统、等离子沉积ALD设备、 黄光区真空系统、有机排废改造、晶圆键合机、排风改造、后清洗设备，水管、气管###路###路二次配建设。
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