购需求概况：（1）快速、高深度分辨率：典型的剥蚀速率为微米/分钟（即：2-10nm/s），可快速测试多个样本，反馈及时；具有纳米级甚至亚纳米级的深度分辨率；（2）适用于所有元素：高灵敏度和超快速光学检测系统使其可以同时检测所有感兴趣元素的深度分布；发射谱线范围从VUV（H和同位素D到IR的锂（670nm）和钾（766nm）..
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