腐蚀湿台设备数量：1台设备原理及用途：本设备适用于六寸和八寸晶圆氧化硅腐蚀使用BOE腐蚀溶液通过化学反应达到腐蚀氧化硅的作用。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA28/05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之BOE腐蚀湿台项目实施地点:中国安徽省招..
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