-06到期时间2040-**-**应用领域其他(先进有色金属材料)简介本发明公开了一种还原性气氛中Zr?Ti?B?N纳米复合涂层的制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr?Ti?B?N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行...
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