标。2.项目概况与招标范围项目概况与招标范围：数字曝光机 1台招标编号：0730-254********4-01包名称： 数字曝光机数量：1台简要技术要求：（1）本设备主要用于TFTLCD工艺中，生产UVMask时对涂布光刻胶后基板进行曝光。（2）Mark对位精度：≤±10μm,寻边对位精度：≤20μm（3）分辨率（Resolution）/解析精度≤15μm，极限解..
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