概况：该标的需要针对特定真空紫外波段设计的光学元件、完成加工、镀膜与装调工作，包含最多3块正入射元件，针对不同元件完成单层膜或多层膜镀膜，其中掠入射反射率要求,正入射反射率要求，和装调后照明匀度要求见附件。购置标的需在2025年6月完成离线测试，离线测试后负责货运、安装、培训和售后等服务，2025年..
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