发一套12轴真空使用的三频激光干涉仪系统和SiC结构主基板，主基板载荷>150kg，具体精度见后续附件，干涉仪绝对定位精度优于********采购标的需在2025年9月完成离线测试，离线测试后负责货运、安装、培训和售后等服务，并对操作人员进行操作安全培训，并负配合在线装调集成预计采购时间：2025-04备注：本次公开的.
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联系人：王越
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