空磁控溅射系统预算金额:160.********万元(人民币)采购品目:A********真空应用设备采购需求概况:本课题组长期从事磁性存储器领域的研究,高质量的磁性多层膜成为科研基础。基于当前组内学生规模和薄膜需求,需要购买一台高真空磁控溅射系统,以便于后续研制高隧穿磁电阻率磁存储器件、外延生长高质量反铁磁薄膜。预计采购.
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