生产设备采购需求概况:采购需求概况应当包括:1.采购标的名称:HMDS烘箱2.采购标的需实现的主要功能或者目标:对硅片或其他半导体材料表面进行预处理3.采购标的数量:14.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)处理晶圆尺寸:最大8英.
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