光辅助化学腐蚀设备，1台，实现全背接触晶硅太阳电池的背面图形化兼容BC电池激光开膜；选****局部去除TOPCon晶硅太阳电池的多晶硅膜层，可实现样品的正反两面减薄，适配PECVD、LPCVD、PVD###路线制备样品。具体技术要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，20个工作日货到采购人指定地点。具体事宜由成交.
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