.********万元(人民币)采购品目：A********其他电工、电子生产设备采购需求概况：采购一台离轴射频偏置磁控溅射，用于200nm及以下尺寸样品的金属、氧化物、氮化物薄膜材料的单层或多层沉积生长。溅射腔本底真空优于5E-7Pa；磁控溅射源共6个，包含2个离轴溅射源和4个共焦溅射源；样品尺寸兼容2~4英寸。预计采购时间：2025-02备...

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