购需求概况预算金额（万元）预计采购时间备注###市科学技术研究院(本级)辐射创新工程面向中尺寸OLED薄膜封装工艺研发及装备研制采购数量：17项,采购目标：旨在离子束技术，深入研究工艺参数对离子束行为的影响规律，揭示离子束作用机制，开展中尺寸器件低温下高沉积速率、高黏附和高致密柔性金属氧化物薄膜的工艺研发..
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