机1台，主要用于金属/介质薄膜蒸镀和lift-off工艺薄膜蒸镀，满足以下指标（1）腔体极限真空优于3×10-7Torr；（2）蒸发速率********/s-2nm/s之间可调。（3）配备石英晶振膜厚监测系统；（4）配备全量程真空计×1，测压范围：1atm~10-9Torr；（5）冷泵前级真空计×1，测压范围：1atm~10-4Torr（6）知名品牌≥6kW电子束蒸发电源，不...
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