加工预算金额：360.********万元(人民币)采购品目：C********其他自然科学研究和试验开发服务采购需求概况：腔室真空度优于5×10-10mbar；低温解理台具备液氮制冷，样品最低温度可达到100K；衬底载物台绕Z轴电动旋转台定位精度达到********°；衬底载物平台温控系统可升温至200℃，升降温速度最高可达5℃/s。转移操作台X/Y两轴电动可...
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：陈思颖
电话：010-82656698
手机：15801679990 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：csy@zbytb.com
下载招标公告:低维材料异质集成模块研制加工招标公告.pdf
