一、项目基本信息1、项目编号：HKUSTGZ-24-G********、项目名称：科研用刻蚀、沉积与高温炉式设备配套备件及耗材采购项目3、采购方式：定向采购4、项目需求：刻蚀、沉积与高温炉式设备配套备件及耗材1批，详见附件。二、申请理由及依据1、申请理由：我校微纳系统制造中央实验室（NFF实验室）前期因日常科研需要，采购有1批刻蚀、沉积与高温炉式设备（品牌：NAURA）。现为了满足日常科研使用以及设备持续运转需求，现需采购一批配套备件及耗材，用于定期更换和维护，确保原有设备的持续稳定运行，减少设备停机时间。具体内容包括：（1）耗材：包括各类密封圈、倒片装置、反应腔室观察窗、高效过滤器等。（2）易损件：包括静电卡盘ESC、加热器、各类下电极防护环、支撑环、隔热板等。（3）关键部件备用件。（4）反应腔室清洗套件备件：包括内衬、陶瓷盖、聚焦环等。我校已购置的刻蚀、沉积与高温炉式设备是制造商北京北方华创微电****公司（以下称****公司”）生产的专用设备，本次拟采购的备件、耗材须与该设备配套使###市场调研，该设备与其备件、耗材只有彼此相匹配才能正常使用，同时还须由原厂进行专业维护及更换，才可最大限度地保证设备的性能，进而确保实验数据的稳定性和系统兼容性，以达到最好的使用效果。同时，原厂不接受未经授权自行从第三方购买的配件并安装使用；如出现因未授权的第三方备件的使用而导致设备运行不稳定、不配套甚至导致其他部件损坏或工艺结果异常，原厂拒绝恢复设备至正常状态。因此，只****公司生产的备件及耗材、以及****公司提供的与原设备关键部件功能一致的备件，才能唯一满足本项目需求。综上所述，本项目拟以定向采购的方式向“北京北方华创微电****公司”采购本项目的刻蚀、沉积与高温炉式设备配套备件及耗材。2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第（3）点“须由指定单位对专利或特殊设备进行维护或合同条款规定相关工作须由特定单位进行”的情形。
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