1招标编号：********项目名称：高精度光学膜厚测量系统********数量：1套********技术规格：高精度光学膜厚测量设备，由椭偏仪部分和测控计算机部分组成。椭偏仪部分实现待测材料光学信息采集，包括光学双臂（起偏臂，检偏臂）、光源、多维样品台、微区可视相机、激光找平系统等。计算机部分控制椭偏仪操作与数据处理，包含数据...

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