一、项目信息采购人：南京理工大学项目名称：三轴激光干涉测距仪采购预算金额：25万元拟采购项目概况：项目拟采购的干涉仪用于米级位移的纳米精度测量，主要用于面向光刻机对准平面磁浮定位平台、光学测量扫描平台的平面位置测量。由于平台采用并联方式，传统长程光栅尺等无法进行平面位置的测量，必须采用激光干涉方式获得测量数据并进行反馈。该平台所需达到的技术指标如下：1）量程30m；2）测量分辨率1pm；3）重复度2nm；4）最大测量速度2m/s；5）测量带宽10MHz。二、采用单一来源采购方式的原因及说明前期已采购一台德国Att****公司IDS3010型号的激光干涉仪，长期处于满负荷运行状态，导致项目推进受阻，亟需增购一台。该设备具有小型化特征，同时在30m量程内科获得1pm的测量分辨率和2nm的重复精度，指标极为先进，能够满足项目需要，本次采购是在原来基础上的同型号续购，不仅有利于设备维护，同时也能更好地开展科研和实验工作。因此，本项目建议仍然选择动智精密设备科技（****公司代理的德国Att****公司IDS3010设备。
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