合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：*7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”变更为：*7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。特此公告 ..
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