1.1 货物名称：深硅刻蚀机
1.2 招标编号：077
1.3设备技术要求：
1)设备配有1套深硅刻蚀工艺腔室，主要包括主机、加热系统、冷却系统、真空系统、静电吸盘、手臂传输腔室、射频源等;
2)适用工艺类型:硅-玻璃键合片和硅片刻蚀；
3)适用晶圆尺寸:4英寸晶圆;
4)夹具类型:4英寸静电吸盘及传输手臂;
5)硅-玻璃键合片(硅结构有背腔)，在暴露面积≥30%时，刻蚀后表面干净，无“掉渣”及“长草”现象;
6)工控系统基于 Windows7 及以下版本的操作系统；
7) 硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm。
1.4 数量：1台
1.5 交货期：合同签订后12个月内
1.6 项目现场：山西省
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商应获得制造商的有效授权，须提供正本（制造商的有效授权书包括制造商直接开具的；或制造商在中华人民共和国关境内的独资公司开具的；或经制造商授权并允许其再授权的单位开具的）。
2.3本次招标不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3. 招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2024年11月21日至2024年11月28日17时(北京时间)，(请登录)下载招标文件。
3.2 招标文件每套售价人民币800元，售后不退。
4. 投标文件的递交
4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2024年12月12日09时30分。
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联系人：程姣
电话：010-53605906
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