一、为了保证TEM偏压氮化硅窗口(定制)质量,供应商报价须上传所报品牌中国总代理针对本项目的授权书,不上传的为无效报价。二、技术参数:推荐品牌型号为加拿大Norcada(型号:定制)和美国Temwindows(型号:定制)1、框架尺寸与厚度: 100μm厚,电阻率5-30 ********,采用多边形设计,适应********直径,边角符合Norcada在2015年为杜博士设计的样式,见图1。2、膜层: NORCADA优化氮化硅,厚度1μm。膜层将向“样品区”扩展约10μm,形成三边固定、一边支撑的结构。3、样品区: 框架的一侧包含一个“切口”用于放置样品和电极端。切口区域在硅框架上会形成锋利的刀缘。4、电极: 4根金电极,厚度200nm。电极延伸至硅刀缘外,并接近SiNx膜层10μm±5μm。所有电极接触点位于********直径圆内,以设备中心为基准,详见图1。5、钝化层: 高品质的SiO2钝化层,厚度1μm±********μm,位于膜层和硅框架之间。6、包装: Gel-Pak盒包装,每包10个设备。
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