一、真空系统：1. 复合分子泵抽速不低于1200 L/S，前级泵抽速不低于9L/S，需配备旁抽；2. 真空极限：优于********×10-5 Pa；3. 抽速：分子泵启动后，抽至********×10-4 Pa 时间小于15分钟；4. 全量程数显复合真空计二、样品台：1. 不锈钢腔室，腔室内体积不小于******** 立方米，源基距不低于340mm；2. 4个基片座，每个基片座对应四种可切换掩膜，不破真空情况下可以切换掩膜；3. 样品台速度连续可调，要求磁流体密封；
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