一、扫描电子显微镜主机：★1、电子枪设计：********场发射电子枪：如是冷场，需提供≥10年灯丝质保承诺；如是热场，需额外配置至少8根备用灯丝（提供承诺函并加盖公章，否则视为无效投标）；********分辨率：≤********@15kV（WD≥4mm），≤********@1kV（WD≥********）；********灯丝：具备开关功能，且不能损坏灯丝；★2、配备背散射电子探测器或者二次电子/背散射信号选择系统：2kV及以下条件下，成背散射电子像；★3、样品台：配置5轴中心马达驱动：行程X：范围至少包含0mm-110mm行程Y：范围至少包含0mm-110mm行程Z：范围至少包含********（旋转）：360°T（倾斜）：范围至少包含-5°～70°★4、样品交换仓：尺寸≥150mm，样品更换抽真空时间：≤1分钟二、能谱仪：★1、探测器：有效面积≥65mm2
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