1.1 货物名称：无硫清洗机

1.2 招标编号：077

1.3 主要用途：

该设备可以综合采用硫酸（SPM+SC1)和（或）无硫酸（O3+TMAH）清洗工艺，去除掩模表面的污染物，包括残胶、微颗粒、有机物、无机物等，可以支持到28纳米的半导体节点。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同签订后18个月内。

1.6 项目现场：无锡中微掩模电子有限公司。 

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2需提供近5年销售本次投标类似规格设备合同复印件或用户评价报告复印件不少于5份（所提供的销售合同复印件乙方应当为投标人或其所代理的制造商。合同复印件除价格信息外，其它信息应清晰明确）。

2.3 本次招标接受代理商投标，代理商必须得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2024年10月30日至2024年11月6日17时(北京时间)，下载招标文件。

3.2 招标文件每套售价800元。

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