一、底盘结构：1.采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈；2.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。3.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。4.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。二、基片架结构1.*可以固定16片15mmx15mm基片，在线切换一次掩膜板，下方可容纳1片135mm x 135 mm的基片，向下兼容，采用嵌入式结构。 2.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。
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