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电子束曝光机移机服务采购项目招标公告
日期:2024-09-27 收藏项目
金额(元):
3,400,********
采购品目:
其他机械设备
采购需求概况:
申请将我院芯片中心现有的一台电子束曝光机从慧园三栋移机至福田保税区实验场地。相关移机背景和申请理由说明如下:根据学校实验室安全管理中心最新的“剧毒化学品的相关安全管理”规定,量子芯片中心受慧园3栋所处地理位置的限制,不满足开展氯气等特殊气体环境下的刻蚀工艺相关实验条件和环境,使该电子束曝光机.

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