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深圳国际量子研究院电子束曝光机移机服务采购项目意向
日期:2024-09-27 收藏项目
的一台电子束曝光机从慧园三栋移机至福田保税区实验场地。相关移机背景和申请理由说明如下:根据学校实验室安全管理中心最新的“剧毒化学品的相关安全管理”规定,量子芯片中心受慧园3栋所处地理位置的限制,不满足开展氯气等特殊气体环境下的刻蚀工艺相关实验条件和环境,使该电子束曝光机的功能和使用效率大打折扣。.

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