概况与招标范围********项目名称：干法刻蚀机********数量：1台********设备组成该设备具备自动传送晶片可实现连续刻蚀功能的全自动高真空、高精度刻蚀装置，该设备包含传输模块、真空###路系统、工艺腔室、射频系统、温控系统、软件系统、终点检测系统、安全保护系统等主要部件。为全新设备。********技术要求：具体详见招标文件第五.

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