.项目概况与招标范围********项目名称：氮化硅镀膜机********数量：1台********功能模块的构成及其要求氮化硅镀膜机具备自动传送晶圆及连续成膜功能，主要包括真空腔室、真空系统、烘烤###路系统、水冷却系统、电源系统、晶圆冷却系统、设备安全系统、计算机控制系统等模块。本设备为全新的自动设备。********技术要求：具体详见招标...
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