镜，该设备由电镜主机、真空系统、光学导航与交换仓等功能附件构成。该场发射扫描电镜用于对半导体芯片和封装材料的内部结构进行高分辨率的扫描和成像，检测芯片或封装材料中的缺陷、裂纹、气泡等微观结构问题，通过提供高清晰度的图像数据，并精确测量半导体器件中的微小尺寸特征，如线宽、间距和孔径。该场发射扫描.
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