，快速降温，加热工作台采用钛合金材质；
（2）超声波涂铟额定功率：1000W，使用频率：20~30KHz，工作振幅：3~10μm；材质钛合金等；
（3）智能机械：自动机械手，可实现360℃旋转，五轴联动；
（4）自动控制系统：要求设备机械手带超声波涂铟头自动完成靶材及背板全方位的涂铟，程序可记忆、编辑、录入。
（5）涂铟厚度：≤5μm，涂铟过..
（2）超声波涂铟额定功率：1000W，使用频率：20~30KHz，工作振幅：3~10μm；材质钛合金等；
（3）智能机械：自动机械手，可实现360℃旋转，五轴联动；
（4）自动控制系统：要求设备机械手带超声波涂铟头自动完成靶材及背板全方位的涂铟，程序可记忆、编辑、录入。
（5）涂铟厚度：≤5μm，涂铟过..
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联系人：陈思颖
电话：010-82656698
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