干涉曝光紫外光源系统采购进行公开招标。2.项目概况与招标范围采购货物的名称：干涉曝光紫外光源系统数量：1套，具体详见标的物清单。简要技术规格：采购一台高功率紫外光源曝光系统，该系统包含一台套激光器和一###路整形系统，实现大面积干涉曝光需求，具体技术规格详见第五章供货要求。交货地点###市丰台区科..
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