公告如下：编号项目名称采购需求概况采购预算(万元)预计采购月份是否专门面向中小企业采购是否采购节能产品、环境标志产品备注1原子极微制###路设施设备清洗机、TEL匀胶烘烤显影机、suss光刻机、INNOTEC电子束蒸发薄膜沉积系统、感应耦合等离子体刻蚀机、迈纳德原子层沉积、液氦循环式探针台（含气垫）、氦液化工厂..
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