由电子激光光束线高品质传播，需要首先对高能激光辐照下的大口径光学元件（偏转镜、K-B镜、压弯镜等）展开高精度实时、在线面形监测，以便后续进行精准的矫正和控制。因此，需购置一批用于光学元件表面检测的辅助设备及相关配件。该批设备将在高真空环境下通过特殊方式集成，成为实现光学元件纳米级形变控制的关键设...
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