超纯化柱、紫外灯和终端过滤器制备超纯水。由独立的带显示屏的取水器取用纯水或超纯水。2.纯水主要技术要求:主机制备速度≥10L/小时,纯水电阻率≥10MΩ·cm@25℃,总有机碳(TOC)含量≤30ppb,可溶性硅(以二氧化硅计)≤********/L。#3.超纯水主要技术要求:********电阻率>18MΩ•cm@25℃。********痕量阳离子:Pb/Hg/Cr/As重金属离子...
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