条件，现对KLA5200套刻仪翻新项目（重新招标）进行公开招标。2.项目概况与招标范围********项目概况：（1）设备名称：套刻量测设备（2）设备型号：KLA5200(MPOVL01)（3）设备数量：一台（4）设备要求：按照SEMI标准对设备各系统进行现场翻新、升级、改造，使设备维持稳定，并尽可能使设备稳定性及工艺指标得到提升。********项目...
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