，现对PECVD&离子注入机尾气处理装置(二次招标)进行公开招标。2.项目概况与招标范围 项目概况与招标范围：PECVD&离子注入机尾气处理装置 CVD：6台，IMP：1台 招标编号：0730-244********7-68包名称： PECVD&离子注入机尾气处理装置(二次招标)数量： CVD：6台，IMP：1台简要技术要求：（1）PECVD废气处理设备主要使用..
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