1.项目名称：高功率脉冲磁控溅射技术制备薄膜试验
2.项目编号：2024-JLZ
3.项目概况：
采购方项目组需要研究开发用于某类精密齿轮的高性能耐磨润滑薄膜技术，项目组前期通过大量的基础研究，已经获得了性能相对优异的多组薄膜材料配比和典型工艺参数。为进行高性能、长寿命薄膜体系的最终筛选，需要采用可长时间连续稳定工作且单炉样品装载量较大的工业级高功率脉冲磁控溅射设备进行薄膜样品/样件的批量制备试验。中标方需按照采购方预设的工艺参数、材料配比和样品样件数量要求进行试验，最终需要交付的样品/样件类型和数量如下：
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序号 |
镀膜试验条件 |
样品基材 |
薄膜 厚度 |
数量合计 |
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1 |
不同负偏压条件下制备H-DLC薄膜（-80V/-100V/-120V/-140V/-160V，共5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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2 |
不同乙炔流量条件下制备H-DLC薄膜（60sccm/80sccm/100sccm/1200sccm/140sccm，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
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3 |
不同B4C靶溅射功率条件下制备B4C-H-DLC薄（B4C靶功率，0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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4 |
不同Ti靶溅射功率条件下制备Ti-H-DLC薄膜（Ti靶功率，0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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5 |
不同Pb靶溅射功率条件下制备Pb-H-DLC薄膜（Pb靶功率，0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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6 |
不同Pb靶溅射功率条件下制备Ti-Pb-H-DLC薄膜（Ti靶功率固定，Pb靶功率为1.0W/1.2W/1.4W/1.6W/1.8W，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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17齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
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21齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
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7 |
不同B4C靶溅射功率条件下制备Ti-B4C-H-DLC薄膜（Ti靶功率固定，B4C靶功率分别为1.2W/1.4W/1.6W/1.8W /2.0W，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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17齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
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21齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
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8 |
不同调制周期下Ti-B4C-H-DLC薄膜/Ti-Pb-H-DLC薄膜制备（调制周期分别为8/10/12/16/20，共计5炉试验） |
单晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
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2Cr13圆片 |
1.5~2 μm |
60 |
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17齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
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21齿数精密齿轮 |
1.5~2 μm |
20 |
根据以上试验计划，中标方需依据采购方试验参数进行薄膜制备试验共40炉次，需交付合格的样品/件数量不少于：单晶Si片80片，2Cr13圆片480片，17齿数精密齿轮60个，21齿数精密齿轮60个。
4.采购项目预算及最高限价：18万元。
二、供应商资格条件
（一）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件：
1.具有独立承担民事责任的能力；
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（书面声明）
3.具有履行合同所必需的专业能力；（书面承诺）
4.具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（书面声明）
5.参加本次采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录；（书面承诺）
6.法律、行政法规规定的其他条件。
（二）国有企业；事业单位；军队单位；成立三年以上的非外资控股企业。（书面承诺）
（三）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业的生产场经营地址或者注册登记地址为同一地址的，非国有销售型企业的股东和管理人员（法定代表人、董事、监事）之间存在近亲属、相互占股等关联的，也不得同时参加同一包的采购活动。近亲属指夫妻、直系血亲、三代以内旁系血亲或近姻亲关系。（书面承诺）
（四）未被列入政府采购失信名单、军队供应商暂停名单，未在军队采购失信名单禁入处罚期内，未被“信用中国”网站列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人。（书面承诺）
（五）本项目不接受联合体投标。
三、采购文件申领时间、地点、方式
（一）申领时间：2024年7月5日至2024年7月8日，每日上午8:30至11:30，下午15:00至17:00（北京时间，法定休假日除外）。
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联系人：陈思颖
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