定品牌数量:********规格:1.蒸镀腔体：SUS304不锈钢，L×W×H：400×400×500mm（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面；结构：方形，前后开门；顶部装配基片台、基片台挡板、膜厚仪探头、真空照明；底部装配蒸发源；主抽气口位于腔室底部正中心位置。2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵，超高真空气动插板阀；“两低一..
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