与器件重点实验室科研设备采购采购品目A********其他金属加工设备采购需求概况1、高真空电弧熔炼及吸铸系统1套,包真空系统、冷却系统、电弧熔炼阴极、水冷铜坩埚、电源等。2、高真空磁控溅射薄膜沉积系统1套,包含真空系统、磁控溅射靶、直流溅射电源、射频溅射电源、基片台、电控系统等。预算金额(元)********预计采购...
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