成膜机(二次招标)进行公开招标。2.项目概况与招标范围项目概况与招标范围:磁控溅射成膜机 1台招标编号:0730-244********7-61包名称: 磁控溅射成膜机(二次招标)数量:1台简要技术要求:(1)本装置用于G6LTPS/LTPO(OLED)制程,进行物理气相沉积工艺;(2)基板尺寸:1500mm(宽)*1850mm(长);基板厚度:********~********;..
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