概况与招标范围********招标编号:ZKX****************招标项目名称:二氧化硅淀积炉【重新招标】。********数量:1台。********主要功能要求:本次购买的二氧化硅淀积炉常用于ONO结构中的SiO2介质层。其原理是在炉管内高温下(720℃-900℃),二氯硅烷(DCS)和笑气(N2O)进行反应生成SiO2薄膜。必须是8寸全新支持SMIF功能及EAP通讯的国产设备********交..
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联系人:程姣
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邮箱:chengjiao@zbytb.com
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