一、技术参数及要求:直径100mm,厚度********的金刚石单晶窗片1片,直径********,厚度********的金刚石单晶窗片1片以上两片光学级CVD单晶金刚石窗片的主要技术参数不低于:厚度公差±5μm;表面粗糙度小于 10nm;平面度小于 5um;热导率1800 W/m·K;真空漏率
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