行公开招标。2.项目概况与招标范围 项目概况与招标范围：磁控溅射成膜机 1台 招标编号：0730-244********7-61包名称： 磁控溅射成膜机数量： 1台简要技术要求：（1）本装置用于G6LTPS/LTPO（OLED）制程，进行物理气相沉积工艺；（2）基板尺寸：1500mm（宽）*1850mm（长）；基板厚度：********~********；（3）设备类型：枚叶式.
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联系人：程姣
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